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Interface Stability and Silicide Formation in High Temperature Stable MoxSi1-x/Si Multilayer Soft X-Ray Mirrors Studied by Means of X-Ray Diffraction and HRTEM
Kleineberg, U.
;
Stock, H. J.
;
Kloidt, A.
;
Schmiedeskamp, B.
;
Heinzmann, Ulrich
;
Hopfe, S.
;
Scholz, R.
In: Physica status solidi A: applications and materials science, Jg. 145 H. 2, S. 539-550