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Enhancement of the reflectivity of Mo/Si multilayer x-ray mirrors by thermal treatment
Kloidt, A.
;
Nolting, K.
;
Kleineberg, U.
;
Schmiedeskamp, B.
;
Heinzmann, Ulrich
;
Müller, P.
;
Kühne, M.
In: Applied Physics Letters, Jg. 58 H. 23, S. 2601-2603
Mo 0,5 Si 0,5/Si multilayer soft x-ray mirrors, high thermal stability, and normal incidence reflectivity
Stock, H. J.
;
Kleineberg, U.
;
Kloidt, A.
;
Schmiedeskamp, B.
;
Heinzmann, Ulrich
;
Krumrey, M.
;
Müller, P.
;
Scholze, F.
In: Applied Physics Letters, Jg. 63 H. 16, S. 2207-2209
Thermal stability of Mo/Si multilayer soft-X-ray mirrors fabricated by electron-beam evaporation
Stock, H. J.
;
Kleineberg, U.
;
Heidemann, B.
;
Hilgers, K.
;
Kloidt, A.
;
Schmiedeskamp, B.
;
Heinzmann, Ulrich
;
Krumrey, M.
;
Müller, P.
;
Scholze, F.
In: Applied Physics A: Materials Science and Processing, Jg. 58 H. 4, S. 371-376