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Thermal stability of Mo/Si multilayer soft-X-ray mirrors fabricated by electron-beam evaporation
Stock, H. J. ; Kleineberg, U. ; Heidemann, B. ; Hilgers, K. ; Kloidt, A. ; Schmiedeskamp, B. ; Heinzmann, Ulrich ; Krumrey, M. ; Müller, P. ; Scholze, F.
In: Applied Physics A: Materials Science and Processing, Jg. 58 H. 4, S. 371-376

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