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vom 14.7.2021
High resolution Rutherford backscattering spectroscopy studies on Mo/Si multilayers
Heidemann, B.
;
Tappe, T.
;
Schmiedeskamp, B.
;
Heinzmann, Ulrich
In: Thin Solid Films, Jg. 228 H. 1-2, S. 60-63
1993