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Klassifikation (DDC)
Naturwissenschaften und Mathematik
Chemie
Analytische Chemie
Herstellung von Vertikalrandstrukturen für Leistungshalbleiterbauelemente mit Hilfe von nasschemischen anisotropen Siliziumätzprozessen
Brockmeier, Andre
;
Hilleringmann, Ulrich
;
Vogt, Holger
Elektronische Ressource, Paderborn, 2018
