Montino, Ralf: Crystal Ball : die Gewinnung von verwertbarer Information aus Datenobjekten mit unscharfem Zusammenhang. 2009
Inhalt
- Kurzfassung
- Abstract
- Inhaltsverzeichnis
- 1 Einleitung
- 2 Halbleiterindustrie
- 2.1 Herstellungsprozess
- 2.2 Fertigungsanlagen
- 2.3 Mixed-Signal-ASIC
- 2.4 Systems in Package (SIP15) / Multichip Modules (MCM)
- 2.5 Nanotechnologie
- 2.6 MEMS
- 2.7 Solarzellen
- 2.8 Fertigungsleitsysteme
- 2.9 Automatisierung
- 3 Kundenanforderungen/ Qualität
- 4 Stand der Technik
- 4.1 „Short Loop“
- 4.2 Automatisch selektierende Verfahren
- 4.3 Optische Kontrolle / Bewertung
- 4.4 Engineering Data Analysis
- 5 Grenzen der etabliertenVerfahren
- 5.1 Einflüsse Equipment
- 5.2 Einflüsse Umgebung
- 5.3 Lange Durchlaufzeiten / hohe Kosten
- 5.4 Unbekannte Zusammenhänge
- 5.5 Grenzen der Simulation
- 6 Auswege aus der Krise
- 6.1 Lebenszyklus von Fertigungsleitsystemen
- 6.2 Informationsgenerierung aus Daten
- 6.3 Nutzung der Maschinendaten
- 6.4 Ereignisverarbeitung
- 6.5 Stand der Wissenschaft
- 7 Crystal Ball
- 7.1 Mathematische Problembeschreibung
- 7.2 Neuer Ansatz: NN als Validator der Feature Selection
- 7.3 Benutzerschnittstelle
- 7.4 Datenquelle
- 7.5 Datentypen
- 7.6 Vorbereitung der Daten
- 7.7 Feature Selection
- 7.8 Neuronales Netz
- 8 Ergebnisse
- 8.1 Überprüfung / Parametrisierung Neuronales Netz
- 8.2 Überprüfung Feature Selection
- 8.3 Ergebnisse mit realen Daten
- 9 Ausblick
- 10 Anhang