Schäfer, Heiko: Integrierte optische Detektoren auf Basis amorphen Siliziums und flüssige Lichtwellenleiter für mikrofluidische Anwendungen. 2008
Inhalt
- Titelblatt
- Kurzfassung
- Abstract
- Einleitung
- Grundlagen optischer Komponenten für den ALM
- Technologische Herstellung des ALM
- Herstellung des Trägersubstrates
- Herstellung des Deckglases im 3-Masken-Prozess
- Herstellung des Deckglases im 4-Masken-Prozess
- Integration der flüssigen Lichtwellenleiter
- Zusammenfassung
- Modellrechnungen zu Komponenten des ALM
- Modellrechnung zur Kapillargeometrie
- Abschätzung der Flächenverhältnisse
- Absorption
- Brechung
- Unterdrückung der Anregungswellenlänge
- Fluoreszenzlöschung
- Molekülbewegung
- Zusammenfassung
- Der invertierte flüssige Rippenwellenleiter
- Der Dünnschichtdetektor und seine Schichten
- Transparentes und leitfähiges Oxid
- Der Brechungsindex von SU-8
- Die amorphe pin-Diode im Sperrbetrieb
- Verlauf der Energiebänder und Ladungsträgerkonzentrationen
- Strom-Spannungs-Kennlinie
- Spektrale Empfindlichkeit
- Zusammenfassung
- Experimentelle Untersuchungen auf dem ALM
- Realisierung des flüssigen Lichtwellenleiters auf dem ALM
- Inbetriebnahme des flüssigen Lichtwellenleiters
- Mikroskopische Beobachtungen an der Analysekapillare
- Fluoreszente Detektion pH-Wert sensitiver Anthracenderivate
- Mikro-Durchflusszytometerstruktur auf dem ALM
- Chemische Eigenschaften von Anthracenderivaten
- Messaufbau zur fluoreszenten Detektion
- Versuchsdurchführung zur fluoreszenten Detektion
- ECL-Detektion von Rutheniumkomplexverbindungen
- ECL-Untersuchungsstruktur auf dem ALM
- Chemische Eigenschaften von Rutheniumkomplexverbindungen
- Messaufbau zur Detektion von Rutheniumkomplexverbindungen
- Ergebnisse zur Detektion von Rutheniumkomplexverbindungen
- Zusammenfassung
- Zusammenfassung
- Abkürzungsverzeichnis
- Abbildungsverzeichnis
- Tabellenverzeichnis
- Maxwell Gleichungen
- Materialgleichungen
- Lösung der Maxwell`schen Gleichungen in Dielektrika
- Reflexion und Brechung in verlustbehafteten Medien
- Prozessprotokolle
- Herstellung des Trägersubstrates
- Prozessprotokoll zum Bonden der Substrate
- Herstellung des Deckglases im 3 Masken-Prozess
- Herstellung des Deckglases im 4 Masken-Prozess
- Matlab & Simulink Daten
- Übersicht der Veröffentlichungen im Rahmen dieser Arbeit
- Beiträge zu Fachzeitschriften
- Beiträge zu Fachbüchern
- Beiträge zu Fachkonferenzen und Fachkolloquien
- Übersicht der betreuten Arbeiten
- Literaturverzeichnis
- Danksagung