Schäfer, Heiko: Integrierte optische Detektoren auf Basis amorphen Siliziums und flüssige Lichtwellenleiter für mikrofluidische Anwendungen. 2008
Content
Titelblatt
Kurzfassung
Abstract
Einleitung
Grundlagen optischer Komponenten für den ALM
Technologische Herstellung des ALM
Herstellung des Trägersubstrates
Herstellung des Deckglases im 3-Masken-Prozess
Herstellung des Deckglases im 4-Masken-Prozess
Integration der flüssigen Lichtwellenleiter
Zusammenfassung
Modellrechnungen zu Komponenten des ALM
Modellrechnung zur Kapillargeometrie
Abschätzung der Flächenverhältnisse
Absorption
Brechung
Unterdrückung der Anregungswellenlänge
Fluoreszenzlöschung
Molekülbewegung
Zusammenfassung
Der invertierte flüssige Rippenwellenleiter
Der Dünnschichtdetektor und seine Schichten
Transparentes und leitfähiges Oxid
Der Brechungsindex von SU-8
Die amorphe pin-Diode im Sperrbetrieb
Verlauf der Energiebänder und Ladungsträgerkonzentrationen
Strom-Spannungs-Kennlinie
Spektrale Empfindlichkeit
Zusammenfassung
Experimentelle Untersuchungen auf dem ALM
Realisierung des flüssigen Lichtwellenleiters auf dem ALM
Inbetriebnahme des flüssigen Lichtwellenleiters
Mikroskopische Beobachtungen an der Analysekapillare
Fluoreszente Detektion pH-Wert sensitiver Anthracenderivate
Mikro-Durchflusszytometerstruktur auf dem ALM
Chemische Eigenschaften von Anthracenderivaten
Messaufbau zur fluoreszenten Detektion
Versuchsdurchführung zur fluoreszenten Detektion
ECL-Detektion von Rutheniumkomplexverbindungen
ECL-Untersuchungsstruktur auf dem ALM
Chemische Eigenschaften von Rutheniumkomplexverbindungen
Messaufbau zur Detektion von Rutheniumkomplexverbindungen
Ergebnisse zur Detektion von Rutheniumkomplexverbindungen
Zusammenfassung
Zusammenfassung
Abkürzungsverzeichnis
Abbildungsverzeichnis
Tabellenverzeichnis
Maxwell Gleichungen
Materialgleichungen
Lösung der Maxwell`schen Gleichungen in Dielektrika
Reflexion und Brechung in verlustbehafteten Medien
Prozessprotokolle
Herstellung des Trägersubstrates
Prozessprotokoll zum Bonden der Substrate
Herstellung des Deckglases im 3 Masken-Prozess
Herstellung des Deckglases im 4 Masken-Prozess
Matlab & Simulink Daten
Übersicht der Veröffentlichungen im Rahmen dieser Arbeit
Beiträge zu Fachzeitschriften
Beiträge zu Fachbüchern
Beiträge zu Fachkonferenzen und Fachkolloquien
Übersicht der betreuten Arbeiten
Literaturverzeichnis
Danksagung