Vogel, Michael: Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen. 2016
Inhalt
- Titel
- Kurzfassung
- Abstract
- Inhaltsverzeichnis
- Verzeichnis der verwendeten Symbole und Abkürzungen
- 1 Einleitung
- 2 Theoretische Grundlagen
- 2.1 Aluminiumnitrid
- 2.2 Piezoelektrizität
- 2.3 SAW-Grundlagen
- 2.4 Interdigital Transducer (IDT)
- 2.5 Materialkonzept
- 3 Experimentelle Methoden
- 4 Herstellung piezoelektrischer AlN-Schichten
- 4.1 AlN auf Silizium
- 4.2 Messungen an texturierten AlN-Proben
- 4.3 AlN auf Saphir (Transmissionsmessung)
- 4.4 AlN auf CVD-Diamant
- 4.5 Zusammenfassung und Schlussfolgerungen
- 5 SAW-Filter
- 5.1 PSAW-Simulation
- 5.2 Herstellung der IDT-Strukturen
- 5.3 Messung der SAW-Filter
- 5.4 Zusammenfassung und Diskussion
- 6 Schlussfolgerungen und Ausblick
- A. Anhang
- Literaturverzeichnis