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Mo 0,5 Si 0,5/Si multilayer soft x-ray mirrors, high thermal stability, and normal incidence reflectivity
Stock, H. J.
;
Kleineberg, U.
;
Kloidt, A.
;
Schmiedeskamp, B.
;
Heinzmann, Ulrich
;
Krumrey, M.
;
Müller, P.
;
Scholze, F.
In: Applied Physics Letters, Jg. 63 H. 16, S. 2207-2209
