Bibliographic Metadata

• Title
  Zusammenhang von strukturellen, chemischen und röntgenoptischen Eigenschaften mittels MOCVD und Elektronenstrahlverdampfung hergestellter Mo/Si und W/Si Multischichten
• Author
  Aschentrup, Andreas
• Degree supervisor
  Heinzmann, Ulrich
• Published
  2003
• Language
  German
• Document type
  Dissertation (PhD)
• Keywords
  Molybdän , Silicium , Mehrschichtsystem , MOCVD-Verfahren , Elektronenstrahlverdampfen , , Multilayer , Mo , Si , MOCVD , TEM
• URN
  urn:nbn:de:hbz:361-4897