Justus, Maik: Magnetische Tunnelelemente mit Pulsplasma-oxidierten Barrieren und Elektroden aus Kobalt-Chrom-Legierungen. 2003
Inhalt
- Inhaltsverzeichnis
- Einleitung
- Grundlagen
- Probenpräparation
- Kobalt-Chrom als Elektrodenmaterial
- Magnetische Eigenschaften von Kobalt-Chrom
- Temperaturstabilität von Kobalt-Chrom
- TMR-Systeme mit Co83Cr17
- TMR-Systeme mit Co87Cr13
- Magnetische Stabilität von Co87Cr13
- Pulsplasma Oxidation
- Funktionsprinzip und experimentelle Ergebnisse
- Homogenität
- Bestimmung der optimalen Oxidationsparameter
- Durchschläge
- Zusammenfassung
- Literaturverzeichnis